●速度之動態(tài)變化范圍寬廣

●高解析度

●反應(yīng)快速

●外型輕巧

●斷電定位保持

●不受外部磁場干擾

●可選購真空型電機

產(chǎn)品規(guī)格

速度250 mm/sec
分辨率5 nm
有效推力30N
保持力35N
剛性4N/μ
施于滑座之預力160N
尺寸46.6mm×23.4mm×41.5mm
重量170gr
工作溫度(可選購較大范圍)0 至 +50°C
儲存溫度-20 至 +70°C
濕度80%

主要市場

半導體設(shè)備、真空環(huán)境、車用儀表板、后視鏡、車門鎖、編織機、硬碟機、磁碟機、CD、DVD、顯微鏡、投影機、相機、醫(yī)療器材、精密量測及精密定位控制